冷却液系统

酸离子水洗浄系统

在去除金属的酸化钙方面，使用酸性离子水能够大幅度减少特定化学物质（盐酸・硫酸・硝酸等）的用量 。能有效改善作业环境，减少废液处理量。

电子机械行业的洗净系统

适用于以印刷配线基板生产线为代表的电子机械行业的离子水利用方案。除无电解镀金后的酸清洗外，对模板成型、微蚀工程等方面，均可提供无需使用药剂的改良型方案。

由于水簇很小，冷却液可以细小分散，有利于提高切削、研削精度。